电感耦合等离子发射光谱仪ICP-OES，是指以电感耦合等离子体作为激发光源，根据处于激发态的待测元素原子回到基态时发射的特征谱线对待测元素进行分析的仪器。待测元素原子的能级结构不同，因此发射谱线的特征不同，据此可对样品进行定性分析；而待测元素原子的浓度不同，因此发射强度不同，可实现元素的定量测定。
ICP发射光谱分析过程主要分为三步：激发、分光和检测。
（1）利用等离子体激发光源使试样蒸发汽化，离解或分解为原子状态，原子可能进一步电离成离子状态，原子及离子在光源中激发发光。
（2）利用光谱仪器将光源发射的光分解为按波长排列的光谱。
（3）利用光电器件检测光谱，按测定得到的光谱波长对试样进行定性分析，按发射光强度进行定量分析。
电感耦合等离子发射光谱仪检测分析的特点：
（1）应用范围宽：可以测定70多种元素。
（2）多元素同时检测能力：可以同时测定一个样品中的多种元素。每一个样品一经激发后，不同元素都发射特征光谱，这样就可同时测定多种元素。
（3）选择性好：每种元素因原子结构不同，发射各自不同的特征光谱。在分析化学上，这种性质上的差异，对于一些化学性质极相似的元素具有特别重要的意义。例如铌和钽、锆和铪、几十种稀土元素用其他方法分析都很困难，而发射光谱分析可以毫无困难地将它们区分开来并加以测定。
（4）检出限低：一般光源可达10~0.1ug/g(或ug.cm3),绝对值可达1~0.01ug.电感耦合高频等离子体（ICP）检出限可达ng/g级。
（5）准确度较高：一般光源相对误差约5%~10%，ICP相对误差可达1%以下。
（6）试样消耗少。
（7）ICP光源校准曲线线性范围宽，可达4~6个数量级，可以测定元素各种不同含量（高、中、微含量）。
（8）常见的非金属元素如氧、硫、氮、卤素等谱线在远紫外区，目前一般的光谱仪尚无法检测；还有一些非金属元素，如Te等，由于其激发电位高，灵敏度较低。
