氧氮氢分析仪是一种用于测定材料中氧(O)、氮(N)和氢(H)元素含量的精密仪器，广泛应用于金属、陶瓷、半导体、化工材料等领域。它通过高温加热或惰性气体熔融法，将样品中的氧、氮、氢元素释放出来，并通过检测技术(如红外吸收、热导检测等)进行定量分析。
一、工作原理：
1、样品处理：
样品在高温炉中加热，或通过惰性气体(如氦气、氩气)熔融，释放出氧、氮、氢元素。
2、气体分离：
通过色谱柱或选择性吸收剂分离氧、氮、氢气体。
3、检测技术：
氧检测：通常采用红外吸收法(IR)或库仑法。
氮检测：通常采用热导检测法(TCD)。
氢检测：通常采用热导检测法或质谱法。
4、数据分析：
仪器通过校准曲线或内置算法计算样品中氧、氮、氢的含量。
二、应用领域：
1.金属材料分析：用于钢铁、铝合金、钛合金等材料中氧、氮、氢含量的测定，评估材料性能。
2.半导体行业：检测硅片、晶圆等半导体材料中的杂质含量。
3.陶瓷和粉末冶金：分析陶瓷材料或金属粉末中的气体元素含量。
4.科研和实验室：用于材料科学、化学等领域的研究和开发。
5.质量控制：在工业生产中用于原材料和成品的质量检测。
