虽然icp光谱仪本身测量精度很高，但在测定样品中元素含量时，结果通常与实际含量不一致，存在一定误差。而且，由于多种因素的影响，有些材料的含量很低。以下是对错误的类型和来源以及如何避免错误的分析。根据误差的性质和原因，误差可分为以下几类：
1、系统错误的来源
（1）当标准样品和样品的含量和化学成分不*相同时，基质线和分析线的强度可能会发生变化，从而引入误差。
（2）当标准样品和样品的物理性质不*相同时，激发特性线会不同，导致系统误差。
（3）铸钢试样的金属组织与退火、淬火、回火、热轧和锻钢试样的金属组织不同时，测得的数据也会不同。
（4）未知元素谱线的重叠干扰。例如，在冶炼过程中加入脱氧剂和脱磷剂时，会混入未知合金元素，造成系统误差。
（5）为消除系统误差，必须严格遵守标准样品制备的要求。为了检查系统误差，需要使用化学分析方法来分析校准结果。
2、偶然错误的来源
与样品成分不均匀有关的误差。由于icp光谱仪光电光谱分析消耗的样品很少，样品中元素分布不均匀、结构不均匀导致不同部位的分析结果不同，从而产生意外误差。主要原因如下：
（1）冶炼过程中带入的夹杂物和偏析导致样品中元素分布不均。
（2）缺陷、气孔、裂缝、砂孔等。
（3）交叉研磨图案、研磨样品过热、样品研磨面放置时间过长、指纹等因素。
（4）为减少偶然误差，需要仔细取样以消除样品的不均匀性和样品的铸造缺陷，或需要重复分析以减少分析误差。
3、其他因素的误差
（1）氩气不纯。当氩气中含有氧气和水蒸气时，激发点会变差。如果氩气管道和电极夹中有污染物不能排放，icp光谱仪分析结果就会很差。
（2）室内温度的升高会增加光电倍增管的暗电流，降低信噪比。高湿度容易导致高压元件泄漏和放电，使分析结果不稳定。
