虽然icp光谱仪本身具有较高的测量精度，但在测量样品中元素的含量时，结果通常与真实含量不一致，存在一定的误差。而且由于很多因素的影响，有些物质的含量很低。那么怎么好好的光谱仪就有误差了？这需要我们从这几个方面来分析。
1、系统误差的来源
（1）当标准样品和样品的含量和化学成分不全相同时，基体线和分析线的强度可能发生变化，从而引入误差。
（2）当标准样品和样品的物理性质不全相同时，特征激发线会不同，产生系统误差。
（3）当铸钢试样与退火、淬火、回火、热轧、锻钢试样的金属组织不同时，测得的数据会有所不同。
（4）未知元素谱线的重叠干扰。比如冶炼过程中加入脱氧剂和脱磷剂，混入未知合金元素，造成系统误差。
（5）为了消除系统误差，必须严格遵循标准样品制备的要求。为了检查系统误差，需要用化学分析方法对校对结果进行分析。
2、偶然误差的来源
与样品成分不均匀相关的误差。由于icp光谱仪光电光谱分析中消耗的样品很少，样品中元素的分布和结构不均匀，导致不同部位的分析结果不同，产生偶然误差。主要原因如下:
（1）冶炼过程中带入的夹杂物和偏析造成样品元素分布不均匀。
（2）缺陷、气孔、裂纹、砂眼等。
（3）交叉研磨纹、研磨样品过热、样品研磨面静置时间过长、指纹按压等因素。
（4）为了减少偶然误差，必须仔细取样，消除样品的不均匀性和铸造缺陷，或多次重复分析，以减少分析误差。
3、其他因素的误差
（1）氩气不纯。当氩气中含有氧气和水蒸气时，激发点会退化。如果氩气管道和焊钳中有污染物无法排出，分析结果会变差。
（2）室内温度的升高会增加光电倍增管的暗电流，降低信噪比。高湿度容易导致高压元件泄漏放电，使icp光谱仪分析结果不稳定。
